罗茨真空泵的工作原理

罗茨真空泵指装有两个沿相反方向同步旋转的叶片形转子的可变容量真空泵。转子之间以及转子与泵壳内壁之间均存在微小间隙，互不接触。间隙一般为0.1～0.8毫米；无需油润滑。转子轮廓包括圆弧线、渐开线线和摆线。渐开线转子泵的体积利用率高，加工精度容易保证，因此转子型线多为渐开线型。

工作原理罗茨真空泵与罗茨鼓风机类似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入转子与泵壳之间的空间v0，然后经排气口排出。由于吸入后v0空间完全封闭，因此泵室内气体不存在压缩或膨胀。但当转子顶部绕排气口边缘旋转，v0空间与排气侧相连时，由于排气侧气体压力较高，部分气体冲回空间v0，造成气体压力突然增加。随着转子继续旋转，气体从泵中排出。